中标信息5
发布时间：2017/7/19 0:44:50 点击次数：4899次
恭喜我公司在天津大学天津大学低温半导体探针台系统项目（TD2011-J-32）中标。
（TTPX低温真空探针台）
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技术指标 |
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Leakage current
Leakage current between each of the four DC probes smaller than 100 f Amps
漏电流，每一个直流探针臂的漏电流小于100 f Amps |
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Vacuum: pressure < 5x10^-4 Torr after 2 hours of pump down (System must be in proper condition, after regular use of the system )
真空泵组在抽真空2个小时之后,真空度：压强< 5x 10E-4 Torr (系统经过长途运输，需要连续抽真空48小时用来消除设备放气。 当设备没有放气时，用随探针台提供的真空泵组在抽真空2个小时之后,真空度：压强< 5x 10E-4 Torr。 系统必须在正确的条件下正确的使用，真空泵系统必须规律的使用。如果系统暴露大气超过1个小时，需要连续抽真空24小时。在暴露大气时，需要提供氮气保护。如果用户使用自己的真空泵组，则真空泵组的指标必须等效或高于厂家提供的真空泵组的指标） |
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Cooling: temperature 4.5K after 60 minutes on sample holder,
在使用样品架时，经过60分钟制冷，温度达到4.5K；（不安装样品） |
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Temperature stability equilibration in temperature range of 4.5 K ~ 400 K better than +/-0.5 K (without sample)
在4.5K ~ 400 K温度稳定性优于+/-0.5 K（不安装样品） |
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Maximum number of manipulated stages
探针臂的数量 4 |
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Probe travel movement x =51mm, y=25mm, z=18mm; Translation resolution
X axis 20um，Y and Z axes 10um
探针行程x =51mm, y=25mm, z=18mm，
X 轴的分辨率为20um,Y 轴和Z 轴的分辨率为10um |
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Resolution of optics : 4 microns
光学显微镜的分辨率为4微米 |
